お客様のニーズに合わせてカスタムでご提案

お客様のニーズに合わせて最適なX線源、検出器の組み合わせで、それぞれの画像処理を組み込んだ検査機会をカスタマイズいたします。

X線源

ナノフォーカスX線源
マイクロフォーカスX線源

検出器

イメージインテンシフィファイア
ラインセンサーカメラ
フラットパネル

画像処理

リチウムイオン電池検査
パッケージ内ワイヤー検査

装置

リチウムイオン電池検査
リチウムイオン電池検査
ウエハーバンプ内ボイド検査

検査対象物と検査項目

検査対象物検査項目
円筒形電池巻きズレ・タブ曲がり・位置
積層( ポリマー) 電池積層ズレ・異物
アルミ電解コンデンサ巻きズレ・電極偏向/ 傾き・タブ挿入
IC パッケージAu /Cu ワイヤー近接
基板部品位置ズレ・はんだボイド
ウエハーバンプ内ボイド
温度センサー保護管~素子までの間隔検査

関連技術情報

産業用X線CT撮像の種類

  直交CT 直交CT(横照射型) 傾斜CT   仕組み 検出器は0℃の状態で、X線の照射方向に対し試料を直交した状態で回転させる 検出器を斜め方向で固定し、ステージと試料を水平方向に回転させる メリット ・情報量が多く、鮮明な画像取得が可能 ・分解能が高い ・情報量が多く鮮明な画像取得が可能で分解能が高い ・試料の自重による影響を受けにくい ・高い回転精度での画像取得が可能 ・大きい試料でもCT撮像が可能 ・ステージに試料を置くだけでCT撮像が可能 デメ

X線の拡大倍率と分解能(解像度)

X線焦点と分解能 フィラメント(陰極)から出た電子線が、ターゲット(陽極)に衝突し、X線が発生する箇所をX線焦点と言います。X線はX線焦点より一定の角度で放射状に照射されます。試料を拡大観察をする場合、X線の照射口であるX線焦点にX線は右図のように試料の輪郭をあらゆる方向から投影する事になるので輪郭がぼけます。X線焦点が小さければ、X線の照射される方向が限定されるので輪郭がはっきりしたシャープな画像を得ることが出来ます。 マーストーケンソリューションの分解能(解像度)の定義