X線検査装置 製品＆サービス紹介
最新情報
MTSは独自のX線検査技術で社会に貢献しています。
X線検査装置は、高密度半導体や微細な電子部品、樹脂材料や複合材などの観察を可能にします。 当社 は、世界トップレベルの分解能を誇る自社開発のX線源を搭載した検査装置メーカーとして、研究開発の分野や、自動車部品 や電池などの生産現場、品質管理における非破壊検査で社会に貢献しております。
豊富な経験と実績でX線検査を自動化
リチウムイオン電池の製造ラインではシェアNo.1。お客様のニーズに合わせた組み合わせやシステムを提案し、検査画像や結果をトレーサビリティに連動させることで、作業工程の削減や製品の品質向上を実現します。
高分解能、低電圧X線源により従来とは異なる分析解析を実現
自社製の低電圧、高輝度なX線源は、従来の半導体や電子部品だけではなく、X線が透過しやすい新素材や複合材などの分野においても高い評価を得ており、大手メーカーのほか、大学や研究所などでも活躍しています。
世界最高峰の分解能を誇る自社開発X線源
自社開発のX線源は分解能において常に業界をリードし、マイクロチャートによる0.4μmの分解能を保証。さらに世界最先端レベルとなる0.1μmの分解能を有するX線源を開発中。
技術トレンド情報
X線検出器の種類とデジタルイメージングの仕組み
Ｘ線検出器の種類 X線は可視光線よりも波長が短いため、目で見ることが出来ません。また、一般的なカメラでもX線を捉えることができないので、X線専用の検出器が必要になります。X線検出器はX線の蛍光作用を利用して可視光に変換してX線透過像を画像として捉えます。一般的なものは3種類です。 イメージインテンシファイア （光増幅器）+カメラ 真空管内でX線を電子に変換し、収束してスクリーンにX線像を出力します。出力されたX線像を一般的な工業用のカメラで画像を取り込みます。工業用では入力面
X線の透過量
X線の透過量は材質（比重）である程度判別できます。化合物ではない単一な物質の場合、原子番号の大きいものほどX線は透過しにくくなります。元素周期表をみるとわかりやすく、バリウム（56）、鉛（84）は原子番号が大きいのでX線が透過しにくく、アルミニウム（13）はX線を透過しやすいということになります。
工業用/産業用X線検査装置の種類
X線検査装置には大きく「工業用」「セキュリティ用」「医療用」に分類されます。工業用の中でも「分析解析（研究開発）」、「製造工程内自動検査（インライン/AXI）」、「製造工程内抜き取り検査（オフライン）」に分かれます。ツリー図の中でハイライトしている部分が当社が扱っている機器になります。
X線CT装置の種類と仕組み
X線CTとは CT＝Computed Tomography の略。日本語では「コンピューター断層撮影」＝物体の（輪切りなどの）断層画像を得る技術。一般的には「CT」はX線を用いた断層撮影を意味します。 →断層画像の３次元グラフィクスでの表示を3DCTと呼びます。 「物体のあらゆる方向からの投影を集合すると，物体の2次元または3次元物体を再構成できる」 Ｘ線CTの原理 Ｘ線を発生するＸ線発生器とＸ線検出器を向かい合うように設置。この一対のX線源と検出器の間に対象物を置いて、Ｘ線
X線の拡大倍率と分解能（解像度）
X線で撮れる画像の特長 X線の透視（透過）撮像はX線発生器（X線源）を光源とした影絵になります。 可視光線の影絵と違うところはX線は物質を透過するので、透過していない（吸収された）ものの影が写ることになります。 X線焦点（フォーカス）と焦点サイズ（スポットサイズ/フォーカスサイズ） X線の光源はX線焦点（フォーカス）と呼ばれ、フィラメント（陰極）から出た電子線が、ターゲット（陽極）に衝突した箇所がそれにあたります。X線焦点は点光源で、その大きさは焦点サイズ（スポットサイズ/フ
X線発生装置（X線源）
※主に透視撮像用途の工業用X線装置の場合 密閉管（密封管 Closed/Sealed tube） 最も一般的なタイプのX線発生器で、医療用でも多く採用されています。電子線を印加するためにガラスやセラミクスなどの真空管を用いたタイプ。 この真空管はX線管球と呼ばれています。X線発生時にエネルギーの大半が熱となるため、X線管球を絶縁オイルとともに封入します。これにより、X線管球自体はお客様での交換はできません。X線を出力し続けることで真空管内にガスが発生し、真空低下が発生するこ