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MTSは独自のX線検査技術で社会に貢献しています。

X線検査装置は、高密度半導体や微細な電子部品、樹脂材料や複合材などの観察を可能にします。 当社 は、世界トップレベルの分解能を誇る自社開発のX線源を搭載した検査装置メーカーとして、研究開発の分野や、自動車部品 や電池などの生産現場、品質管理における非破壊検査で社会に貢献しております。

豊富な経験と実績でX線検査を自動化

豊富な経験と実績でX線検査を自動化

リチウムイオン電池の製造ラインではシェアNo.1。お客様のニーズに合わせた組み合わせやシステムを提案し、検査画像や結果をトレーサビリティに連動させることで、作業工程の削減や製品の品質向上を実現します。

高分解能、低電圧X線源により従来とは異なる分析解析を実現

高分解能、低電圧X線源により従来とは異なる分析解析を実現

自社製の低電圧、高輝度なX線源は、従来の半導体や電子部品だけではなく、X線が透過しやすい新素材や複合材などの分野においても高い評価を得ており、大手メーカーのほか、大学や研究所などでも活躍しています。

世界最高峰の分解能を誇る自社開発X線源

世界最高峰の分解能を誇る自社開発X線源

自社開発のX線源は分解能において常に業界をリードし、マイクロチャートによる0.4μmの分解能を保証。さらに世界最先端レベルとなる0.1μmの分解能を有するX線源を開発中。

産業用X線CT撮像の種類

  直交CT 直交CT(横照射型) 傾斜CT   仕組み 検出器は0℃の状態で、X線の照射方向に対し試料を直交した状態で回転させる 検出器を斜め方向で固定し、ステージと試料を水平方向に回転させる メリット ・情報量が多く、鮮明な画像取得が可能 ・分解能が高い ・情報量が多く鮮明な画像取得が可能で分解能が高い ・試料の自重による影響を受けにくい ・高い回転精度での画像取得が可能 ・大きい試料でもCT撮像が可能 ・ステージに試料を置くだけでCT撮像が可能 デメ

X線の拡大倍率と分解能(解像度)

X線焦点と分解能 フィラメント(陰極)から出た電子線が、ターゲット(陽極)に衝突し、X線が発生する箇所をX線焦点と言います。X線はX線焦点より一定の角度で放射状に照射されます。試料を拡大観察をする場合、X線の照射口であるX線焦点にX線は右図のように試料の輪郭をあらゆる方向から投影する事になるので輪郭がぼけます。X線焦点が小さければ、X線の照射される方向が限定されるので輪郭がはっきりしたシャープな画像を得ることが出来ます。 マーストーケンソリューションの分解能(解像度)の定義