製品仕様
| 管電圧 | 20 ～ 70kV |
|---|---|
| 管電流 | 0 ～ 200μA |
| 焦点寸法 | 10μm |
| 照射角度 | 11° |
| X線焦点から照射窓までの距離 | 35mm |
| 外形寸法 W×D×H | 433×160×140 mm |
| 電源 | AC100V50W 以下 |
※その他多種多様なX線源のご提案が可能です。詳細につきましては、弊社営業担当にお問い合わせ下さい。
マイクロフォーカスX線源 使用例
| 管電圧 | 管電流 | 最大出力 | 焦点寸法 |
|---|---|---|---|
| 60kV | 800μA | 48W | 100μm |
| 90kV | 200μA | 8W | 5μm |
| 100kV | 500μA | 50W | 100μm |
| 130kV | 300μA | 39W | 5μm |
| 150kV | 500μA | 75W | 5μm |
特 長
開発のキーワードは『軟X 線』『高分解能』『高輝度』
当社の前身である株式会社東研にて、X 線事業は『軟X 線プロジェクトチーム』としてスタートしました。軟X 線にはマイクロフォーカスX 線源という意味合いと、文字通り柔らかいX 線つまり長波長のX 線という意味合いがあります。当社では長波長のX 線をいかに明るくするか、微小焦点から出てくるわずかなX 線の量をいかに増やすかをテーマに開発を続け、世界でもユニークなメーカーとしての地位を確立しております。長寿命のマイクロフォーカス密閉管X 線源の製造・開発から始まり、1μm を切る分解能の開放管X 線源は、国内外の市場で高く評価されています。X 線装置はX 線源と検出器によって装置の性能が決まり、画像処理による画像改善には限界があります。
当社では『軟X 線』『高分解能』『高輝度』をキーワードにX 線検査の新たな可能性を追求していきます。
JIMA 製マイクロチャートで0.4μm の分解能を実証！！
X線焦点サイズ0.25μｍ、分解能は日本検査機器工業会JIMAチャートにて0.4μｍを保証
2段の縮小レンズと収差補正機能を持った高精度の電子光学系と電子源に高電流密度フィラメント（LaB6）を採用した高輝度・高分解能の開放管型X線源です
分解能切り替え機能
フィラメントの交換をしないので、真空リークすることなく、即座に分解能の切り替えが可能
観察対象物に合わせて瞬時に分解能を切り替えることが出来ます
高分解能サイズ（0.4um/0.6um）
数umの微小クラックやボイド、繊維質など、1000倍以上でシャープな画像を取りたいとき
TSV内1um以下のボイド
チップコンデンサ0402サイズ
中分解能サイズ（1um/2um/3um）
100um以上の大きなものが対象
高分解能よりも輝度を優先させたい場合X線量が多いのでCTや動画撮像に有利に働きます。
※TX-300は(1um/3um）
金ワイヤの接合部とアルミパット
フリップチップバンプ接合部
簡単メンテナンス
フィラメントの交換はカートリッジ式になっており、お客様で交換が可能です。
交換後の調整は付属のソフトウェアで自動調整を行います。