特長・性能
高分解能
- 世界最高峰の分解能を誇る自社製Ｘ線源を搭載（JIMA チャート0.4μm 保証）
- 空間分解能100nm 以下
- 高精度回転試料ステージ採用
ハイコントラスト
- LaB₆フィラメント採用で高輝度 高分解能を実現
- 高感度検出器搭載で 樹脂・カーボンなどの軽元素材料の観察に最適
高速撮像
・非停止撮像機能搭載で従来機と比べ撮像時間を大幅短縮(※当社従来機比)
対象分野・製品
用途
| 分野 | 検査対象 | 検査内容 |
|---|---|---|
| 材料・化学 | GFRP CFRP カーボン 接着剤 樹脂フィルム 電池材料（活物質、バインダー） セルロースナノファイバー(CNF) 紙 | 繊維配向性 充填率 ボイド 空隙 膜厚 凝集分散 構造 剥離 |
| 電子部品 | チップ部品 マイクロコネクタ MEMS 小型センサ | 接合 ボイド 空隙 断線 剥離 構造 クラック |
| 半導体 | TSV インターポーザー マイクロバンプ | 接合 ボイド 充填率 空隙 膜厚 クラック |
| 医療 | 錠剤 カプセル剤 不織布 | 接合 ボイド 空隙 膜厚 構造 |
| 生物 | 昆虫 骨 種子 花 葉 | 構造 |
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サンプル撮像
ガラス充填剤入り接着剤凝集分散
(ガラス充填剤 数μm～数十μm)
セルロースナノファイバー入り樹脂凝集分散
(繊維径最小0.8μm)
3Dプリンタで作成したCFRP配向性
(繊維径7μm) 宇宙航空研究開発機構(JAXA)様ご提供サンプル
1005サイズ電子部品
構造観察
製品仕様
| 線源 | 自社開発高分解能X線源 |
|---|---|
| 管電圧 | 20kV～100kV |
| 管電流 | 10～200μA |
| フィラメント | 高輝度LaB6チップ |
| 最高分解能 | 0.4μm（JIMAチャート） |
| 空間分解能 | 100nm以下 |
| 検出器 | 高感度X線検出器（16bit） |
| 最大視野サイズ | 17 × 17 mm |