特長・機能
高出力・高分解能開放管ナノ-マイクロマルチフォーカスX線源搭載
- 幾何学倍率200倍まで拡大ができる実装基板やシステムLSI等に対応した傾斜CT機能を搭載
- セラミックコンデンサなど高精細かつX線の出力が必要のサンプルに最適
- 高精度回転ステージで大型基板などのサンプルを非破壊でCT撮像が可能
1台4役豊富な計測オプション
- CTオプション（直交）機能追加可能
- 加熱装置（リフローシミュレーション+リアルタイム動画保存）の機能追加可能
※CTユニットと加熱装置ユニットはステージの着脱で簡易的に切り替えができます - 透過撮像の画像処理の自動化やローダーアンローダーなどカスタム対応可能
直交型CT ユニット
高分解能CT 撮像が可能。1 回のCT 撮像で三方向の断面データを取得し、任意の断面を観察することが可能。
搭載可能サンプルサイズ ：20mm×20mm 150ｇ
加熱装置ユニット
試料を加熱した際の様子をリアルタイム動画観察。ハロゲンと温風で最高400℃まで加熱可能。
0.1 ～ 5℃/ 秒までの昇温勾配設定が可能。
搭載可能サンプルサイズ ：40mm×40mm 厚さ6mm
対象分野
対象製品
| セラミック部品 | LED部品 | 実装基板 | ウエハ |
| 車載センサー | コネクタ | パワー半導体 |
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サンプル撮像
0402セラミックコンデンサのCT観察
セラミックコンデンサの基板接合状態
多層ICパッケージ
直径40µｍCuワイヤ
直径200µmBGA
製品仕様
| X線源 | 種類 | 自社製開放管 LaB6フィラメント | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 分解能 | 0.5μm（JIMAチャート保証） 0.5/0.7/1.0/2.0/3.0μm分解能切り替え機能付き | ||||||||
| 菅電圧/菅電流 | 40~160ｋV/10~200μA | ||||||||
| 種類 | 600万画素フラットパネル | ||||||||
| 可動域 | Z軸：300ｍｍ T軸：-5°~60° | ||||||||
| 幾何倍率（最低-最大） | 2.0倍ー1200倍（モニター倍率7200倍） | ||||||||
| カメラ分解能（デジタルズーム未使用） | 幾何倍率1200倍時 0.04μm/画素 | ||||||||
| ステージサイズ | 340×340mm | ||||||||
| 外形寸法と重量 | 装置本体1594（W)ｘ1787（D)ｘ2064（H)ｍｍ 本体重量3300kg | ||||||||
| ユーティリティ | 電源：AC200V±10％ 50A エアー：0.4～0.5Mpa Φ6mmチューブ | ||||||||
初心者でも簡単に操作できるインターフェイス
- 操作手順ナビゲート機能により、初心者でも簡単に透過撮像やCT撮像が可能
- 傾いた試料の水平出しを簡単にする整列機能や二点間測長など、透過撮像のサポート機能も充実
- 光学カメラで検査ステージの全体像を映し、光学写真をクリックすることで、簡単にステージが移動
基本操作のフローを表示
サンプルセット～撮像～終了まで一連の流れをフローで表示。
手順に沿ってクリックしていけば、簡単に撮像が出来ます。
マウス操作イージーぺレーション
焦点サイズ切り替え機能
操作画面上焦点サイズをクリックすることで、焦点サイズを切り替えて撮像出来ます。
高倍率でより細かく・・小焦点(0.4or0.6μm)
低倍率で広いエリアを・・大焦点(2.0or3.0μm)
便利機能の紹介
整列機能
画像の2 点間から回転角度を算出し、その2 点間を画像の水平或いは垂直に調整します。
光学マッピング／ X 線マッピング機能
光学マッピング
ステージ全体を光学マップカメラで撮影し、ステージ上にある試料の全体像を認識します。光学画像をクリックすることで、直接的に試料の観察部位へ視点を移動することが出来ます。
X 線マッピング
大きな試料を自動で複数回に分割して撮像し、各分割画像をつなぎ合わせ、
1 枚の画像（マッピング像）を作成し、全体像を得る機能です。
２点間測長機能
画面上の任意の2 点間距離を測定することが出来ます。