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X線検査装置
半導体・電子部品向けナノフォーカスX線検査装置 TUX-5000F

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史上最高の高分解能 0.1ミクロンのX線検査装置

史上最高0.1ミクロンの分解能を実現したTUX-5000F。X線源に新開発のFE型電子銃を搭載し、低電圧でも高輝度の撮像環境をご提供します。カーボンなど、これまで内部検査が難しかったX線の透過率が高い素材でも、高コントラストの画像を得ることができます。モニター倍率は10000倍。検査物を回転・傾斜させても観察ポイントを外さないユーセントリック・ステージも標準で装備しており、高倍率・高コントラストの画像が非破壊検査を飛躍的に向上させます。

仕様

型式 TUX-5000F
X線源種類 FE型 開放管X線源
フィラメント種類 熱電界放射陰極ZrO/W(100)
最高分解能(マイクロチャート) 0.1μm(NTT-ATチャート)
X線出力 管電圧:20~80kV / 管電流:0~200μA
最大幾何倍率 2500倍
最大モニター倍率 10000倍
ステージサイズ 直径60mm
最大検査範囲 直径60mm
ステージストローク X軸:±30mm、Y軸:±30mm、Z軸:200mm、θ軸:350°
傾斜検出方式/角度 ステージ傾斜方式 / 45°
検出器 検出器:4/2インチ切り替え式 I.I アルミウィンドウ
カメラ:145万画素CCD 10bitグレースケール
最大視野サイズ 35mm×26mm
本体外形寸法 1300(W)×1560(D)×2230(H)mm
本体重量 約2000kg
電源 単相AC200V、60A
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