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X線源
0.1μm 超高分解能 FE型 開放管X線源 TX-500

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Ⅹ線源の電子銃に世界で初めてFE (フィールド・エミッション)電子源を採用して、MTS独自の「In-Lends Field Emission Gun方式 (電子を加速しながら曲げる方式)で、世界最高の0.1μmの超高分解能をもつⅩ線源の開発に成功しています。

私たちマーストーケンソリューションは、1999年独自開発した電子銃を応用し、世界で初めて分解能0.4μmのⅩ線源を搭載したⅩ線装置を世に送り出しました。 世界が必要としているナノレベル領域の解析のために、当社はⅩ線源開発の先駆者として、より高精度なⅩ線検査装置でお応えしていきます。

機能・特長紹介

世界最高の0.1μmの超高分解能

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Ⅹ線源の電子銃に世界で初めてFE (フィールド・エミッション)電子源を採用して、MTS独自の「In-Lends Field Emission Gun方式 (電子を加速しながら曲げる方式)で、世界最高の0.1μmの超高分解能をもつⅩ線源の開発に成功しています。

TX-500のマイクロチャート画像

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