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X線検査装置
汎用ナノフォーカスX線顕微検査装置 TUX-3300N

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汎用ナノフォーカスX線顕微検査装置

0.4μm分解能切り替え開放感X線源(TX-320)を搭載し、微細な電子部品から実装基板まであらゆる場面で活用できるナノフォーカスX線装置です。

■焦点サイズ0.25μmの自社開発開放管X線源搭載
 分解能5段階切り替え機能付き(0.4μm/0.6μm/1μm/2μm/3μm)
 更に、現在開発中の高分解能X線源へのアップグレードも可能。
■ユーザビリティを追求した筐体デザイン
■高速検査機対応機能追加で半自動検査機にも対応
■検出器最大傾斜60° ステージサイズ 直径400㎜搭載
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