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X線検査装置
傾斜CT専用ナノフォーカスX線顕微検査装置 TUX-3210N

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傾斜CT対応 ナノフォーカスX線顕微検査装置

X線源の分解能、ステージの精度、再構成アルゴリズムの3つの要素が、X線CTの分解能を決定する重要なポイントとなります。傾斜CT対応 ナノフォーカスX線顕微検査装置 TUX-3210はそのすべてに対し、ナノフォーカスX線源、回転軸の偏芯を最小化した高精度ステージ、そして新たなCTアルゴリズムの採用で、高精度なCT画像取得を可能にしたX線検査装置です。

仕様

型式 TUX-3210N
X線源種類 0.4μm~3μm分解能切り替え式開放管X線源
フィラメント種類 高輝度タイプLab6チップ
最高分解能(マイクロチャート) 0.4μm(JIMAチャート)
X線出力 管電圧:20~130kV / 管電流:10~200μA
最大幾何倍率 1000倍
最大モニター倍率 4700倍
ステージサイズ 440mm×440mm
対象ワークサイズ例 200mm×200mm
ステージストローク X軸:±100mm、Y軸:±100mm、
Z軸:200mm、θ軸:605°
傾斜検出方式/角度 検出器傾斜方式 / 60°
検出器 検出器:4/2インチ切り替え式 I.I アルミウィンドウ
カメラ:145万画素CCD 10bitグレースケール
最大視野サイズ 33mm×24.5mm
本体外形寸法 1506(W)×1190(D)×1997(H)mm
本体重量 1500kg
電源 三相AC200V、50A(含オプション)
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