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X線検査装置
新機能材料・生物試料用 ナノフォーカスX線CT専用検査装置 TOHKEN-SkyScan2011

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150ナノの空間分解能X線ナノCT装置

X線検査装置 TOHKEN-SkyScan2011は、世界最高のX線源とCTテクノロジーが融合した世界初のX線CT装置です。完全自社開発の超微小焦点X線源を搭載、空間分解能は世界最高の150ナノメートル。カーボン素材や多孔材料などの構造解析を可能にしました。

仕様

型式 TOHKEN-SKYSCAN2011
X線源種類 線源横置き型 0.4μm~1μm分解能切り替え式開放管X線源
フィラメント種類 高輝度タイプLab6チップ
最高分解能(マイクロチャート) 0.4μm(JIMAチャート)
X線出力 管電圧:20~80kV / 管電流:10~200μA
ピクセル当りの最大検出分解能 150 nm
最大サンプルサイズ 0.2~1 mm (150 nm 分解能) 最大11 mm (9 µm 分解能)
7軸精密マニピュレータ 拡大率移動、カメラポジション移動、
検査ステージプレアライメント、X軸・Y軸・θ軸・Z軸
位置決め精度 200nm以下
再構成時間 1断面あたり12秒
再構成アルゴリズム コーンビーム再構成法(Feldkamp方式)
検出器 検出器:I.I ベリリウムウィンドウ
カメラ:130万画素CCD 12bitグレースケール
画素数:1280×1024ピクセル
本体外形寸法 1300(W)×800(D)×1400(H)mm
本体重量 540kg
電源 AC100V、20A
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