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TUX-3300N

■エレクトロニクス(半導体・電子部品基板・樹脂成型品など)

装置仕様 X線検査受託サービス

特 長

焦点サイズ0.25μmの自社開発開放管X線源搭載。
分解能5段階切り替え機能付き(0.4μm/0.6μm/1μm/2μm/3μm)
更に、現在開発中の高分解能X線源へのアップグレードも可能。

弊社製開放管線源についてはこちら>

ユーザビリティを追求した筐体デザイン。

高速検査機対応機能追加で半自動検査機にも対応。

検出器最大傾斜60° ステージサイズ 直径400㎜搭載

検出器最大傾斜60° ステージサイズ直径400mm搭載

モニター倍率7400倍、幾何倍率1200倍の高倍率

簡単なステージ操作 4種のステージ操作切り替え式
(ダイレクトムーブ、ドラッグムーブ、連続移動、JOG移動)

ワークを自動的に真っ直ぐに回転させる整列機能、傾斜時に視野から見たい箇所が逃げない着目点設定機能搭載

スケール表示機能、オートアライメント、オートフォーカス機能搭載

2点間距離測定、ボンディングワイヤ流れ率計算、ボイド率計算ソフト標準装備

決まった距離を自動で移動し撮像をするインチング送り、ステップ送り機能搭載

仕様

X線源種類 0.4um~3um 分解能切替え式 開放管 X線源
フィラメント種類 高輝度タイプLaB6チップ
X線焦点サイズ 0.25um
最高分解能(マイクロチャート) 0.4um(JIMAチャート)
X線出力 管電圧/管電流 30~130kV/10~200uA
最大幾何倍率 1200倍
最大モニター倍率(24インチ換算) 7400倍
ステージサイズ 直径400mm
最大検査範囲 335mmx300mm
ステージ
ストローク
X/Y軸 ±200mm/±150mm
Z軸/θ軸 230mm/360°
傾斜検出方式と角度 検出器傾斜方式 60°
検出器 検出器 4インチ I.I
カメラ 145万画素CCD
最大視野サイズ 31mmx23mm
本体外形寸法 W×D×Hmm 1650×1280×1990
本体重量 2000kg
ユーティリティ 電源 三相AC200V、30A(含オプション)
エア 0.4~0.5MPa(外径Φ6mmチューブ接続)

オプション

直交型CT 加熱装置

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